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          工程陶瓷加工表面形貌測(cè)量分析技術(shù)

          工程陶瓷加工表面形貌測(cè)量分析技術(shù) 表面形貌不僅與加工過(guò)程中的加工方法及工藝參數(shù)密切相關(guān),而且其紋理特征在很大程度上決定了零部件的使用性能。如在電子工業(yè)中,硅片的表面
          工程陶瓷加工表面形貌測(cè)量分析技術(shù)
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             表面形貌不僅與加工過(guò)程中的加工方法及工藝參數(shù)密切相關(guān),而且其紋理特征在很大程度上決定了零部件的使用性能。如在電子工業(yè)中,硅片的表面粗糙度對(duì)集成電路中薄膜電阻和電容的影響越來(lái)越大,已直接影響到集成電路器件的性能及成品率;在國(guó)防軍事、航空航天工業(yè)中,光學(xué)鏡片的表面形貌,即使只有很小的一點(diǎn)微

              長(zhǎng)期以來(lái),表面形貌的表征一直是二維的,即以掃描獲得的輪廓線作為表征的基礎(chǔ)。但隨著表面分析的深入和對(duì)表面性能要求的提高,二維參數(shù)表征已不能滿足工程界的要求,只有三維的檢測(cè)和定量化分析才能對(duì)表面形貌進(jìn)行完整的表征。目前,國(guó)際上包括ISO在內(nèi)的許多組織正積極探索三維表征參數(shù)。


              雖然三維形貌測(cè)量越來(lái)越受重視,三維形貌測(cè)量開(kāi)始不斷應(yīng)用在金屬材料切削表面形貌的分析,但是有關(guān)陶瓷磨削表面三維形貌測(cè)量的研究還處于起步狀態(tài),許多學(xué)者在進(jìn)行陶瓷磨削表面質(zhì)量評(píng)定的時(shí)候仍是沿用二維輪廓參數(shù)和評(píng)定方法。盡管有些學(xué)者也進(jìn)行了陶瓷磨削表面特性的研究,開(kāi)始用三維形貌測(cè)量來(lái)進(jìn)行表面質(zhì)量評(píng)定,但多是針對(duì)單一樣品的質(zhì)量評(píng)定,多樣品磨削表面的三維形貌參數(shù)的對(duì)比研究還很少。

              表面形貌評(píng)定的核心在于特征信號(hào)的無(wú)失真提取和對(duì)使用性能的量化評(píng)定,近年來(lái)國(guó)內(nèi)外學(xué)者在這方面做了大量的工作,提出了許多分離與重構(gòu)的方法。隨著計(jì)算技術(shù),機(jī)電一體化技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了最小二乘多項(xiàng)式擬合法、濾波法、分形法、Motif法、功能參數(shù)集法等多種評(píng)定理論與方法,并取得了顯著的進(jìn)展。
           
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