微束X射線熒光光譜儀μ- XRF是價態和微區分析的重要工具，具有原位、多維、動態和非破壞性特征，近些年來呈現快速發展態勢，主要應用于微米量級區域內的元素分析。

       μ- XRF采用X射線透鏡產生小至數十μum的微束X射線，通常將兩組透鏡分別安裝在發射道和探測道上，發射道上采用高光子通量的光源和單毛細管透鏡,探測道上幾乎只采用半聚焦多毛細管透鏡或錐束多毛細管透鏡24.,通過調節兩組透鏡的焦點使其聚焦于樣品中,這種“共聚焦”設置方式不僅提高了初、次級X射線的強度，還能提供多維信息。

       同步輻射雖然是進行微區分析的理想光源,但其裝置龐大、造價高昂,并不適宜于常規應用;高功率X射線管或低功率微焦點X射線管雖然不如同步輻射可以提供非常強的分析能力,但亦可以達到很高的亮度,而且廉價易得,成為應用最普遍的μ- XRF光源。

創想熒光光譜儀

       目前已有的X射線熒光光譜儀一般不配備X射線聚焦器件，微區分辨率通常為幾十甚至上百微米，迄今為止，未見微區分辨率小于10微米的便攜式微束X射線熒光光譜儀的相關報道。

已有人提出基于X射線毛細管器件的熒光光譜儀，因為使用了 X射線毛細管器件進行聚焦，微區分辨率提高到幾十微米，但是結構復雜、尺寸龐大，無法實現便攜，且微區分辨率還不夠高；另有人提出一種能量色散X射線熒光光譜儀，用X射線發生裝置產生的一次X射線去照射二次靶材，提高了檢測靈敏度，但是儀器結構和控制裝置復雜，微區分辨率不高。

       X射線熒光光譜儀器經過半個多世紀的不斷積累和突破,X射線熒光光譜儀已廣泛滲透進科研、生產和生活的各個方面,促進了各個學科和技術的飛躍，物理學化學地質學、生命科學、材料科學、環境科學、考古學、醫藥衛生、刑偵法檢等學科和技術的某些突破性發展很大程度上都仰賴于X射線熒光光譜儀的應用。

       在工業生產特別是冶金工業中,原材料的質量檢查、中間控制及成分分析異常重要。化學分析法流程長、工作量大、速度慢,不適宜于爐前分析;等離子體發射光譜法不適宜于測量濃度大的元素,且譜線強度受樣品組分的影響較大,曲線線性也不穩定,不利于指導生產，而XRF不受樣品形態的約束,分析范圍廣泛,簡便快速、誤差小、成本低、準確度好、易于自動化，適用于合金工業生產分析。