一、其他主流光學(xué)系統(tǒng)（分光/色散）

切爾尼-特納（Czerny-Turner）：雙準(zhǔn)直鏡+平面光柵，結(jié)構(gòu)簡單、成本低，常見于單道掃描型儀器。

帕邢-龍格（Paschen-Runge）：凹面光柵直接分光，羅蘭圓排布，光效高、分辨率好，多用于多道同時型儀器。

艾伯特-法斯梯（Ebert-Fastic）：單塊大凹面鏡兼準(zhǔn)直/聚焦，像差補償好、結(jié)構(gòu)緊湊。

羅蘭圓（ORCA）：一次分光直達(dá)檢測器，光損小、穩(wěn)定性強，近年全譜直讀儀器常用。

羅蘭圓光學(xué)系統(tǒng)示意圖

二、儀器整體核心組成（除光學(xué)系統(tǒng)外）

ICP光源系統(tǒng)

高頻發(fā)生器（RF）：提供等離子體能量。

石英炬管：三層同心管，通冷卻氣/輔助氣/載氣（氬氣）。

感應(yīng)線圈：銅質(zhì)空心通水冷卻，點燃并維持等離子體。

進(jìn)樣系統(tǒng)

霧化器：同心/交叉型，將液體樣品轉(zhuǎn)為氣溶膠。

霧室：去除大液滴，穩(wěn)定進(jìn)樣，提高精度。

蠕動泵：精準(zhǔn)輸送樣品，控制進(jìn)樣量。

檢測系統(tǒng)

光電倍增管（PMT）：單通道高靈敏檢測，適合弱信號。

固態(tài)檢測器：CCD/CID/CMOS，全譜直讀、多元素同時檢測。

ICP檢測系統(tǒng)CCD

數(shù)據(jù)處理與控制系統(tǒng)

儀器控制軟件：控制射頻功率、氣體流量、進(jìn)樣參數(shù)。

數(shù)據(jù)處理軟件：譜線識別、背景校正、干擾扣除、定量計算。

創(chuàng)想儀器 ICP光譜儀

ICP數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)

輔助系統(tǒng)

氣路系統(tǒng)：高純氬氣（99.999%），控制三路氣體流量。

冷卻系統(tǒng)：水冷/風(fēng)冷，冷卻線圈、炬管、光學(xué)部件。

恒溫系統(tǒng)：光學(xué)艙恒溫（±0.1℃），減少波長漂移。

三、光學(xué)系統(tǒng)對比