直讀光譜儀配備真空系統(tǒng)，相比非真空型直讀光譜儀，其可檢測真空紫外光譜區(qū)域的元素，解決了碳、硫、磷、砷、硼等元素分析。針對他的檢驗檢測方式，我們來看一下。

       真空直讀光譜儀的結(jié)構(gòu)要比非真空直讀光譜光復(fù)雜，各種光學(xué)元件置于真空分光室中這種殼體必須保證在真空度的作用下不變形，相對位置不發(fā)生變化；尤其是分光室的結(jié)構(gòu)必須考慮受力均勻，變形小。

       真空室內(nèi)與真空外部接觸的運動零件（如描跡狹縫，石英窗，透鏡）要盡量減少，并需要密封材料，以免在抽真空時發(fā)生漏氣，影響真空度。

真空型直讀光譜儀的檢驗檢測

       空氣成分主要是由氮、氧、水蒸汽和各種惰性氣體組成，其中以前三者含量最高，空氣對遠紫外光譜的吸收是很強烈的，尤其以氧氣的吸收最為嚴重。

       氧氣在遠紫外光譜區(qū)存在著兩個吸收區(qū)，第一個吸收區(qū)是從195nm開始直到176nm左右。在160-130nm的光譜區(qū)氧氣基本上是透明的。第二個吸收區(qū)是110-130nm或者更短波長，該吸收區(qū)的吸收峰處在145nm附近。在吸收峰附近，14微米厚的氧氣層在常溫常壓下能吸收進入其中的一半輻射強度。

       氮氣的吸收區(qū)是從145nm開始，直到99nm，隨后吸收變小，氮氣在> 145nm的遠紫外光譜區(qū)是透明的。

       水蒸汽具有兩上吸收區(qū)，一個是從178nm開始，另一個是從134nm開始。水蒸氣的吸收比氧氣弱很多。

       惰性氣體的吸收是比較小的，可以忽略不計。根據(jù)以上討論?？梢哉J為空氣對遠紫外光譜和吸收主要取決于氧氣，因此工作光譜區(qū)域大于160nm的分光室必須保持真空度0.001-0.01mm/ Hg。

       真空直讀瀆光譜儀的分光系統(tǒng)置于無氧的空間中為此配備了抽氣系統(tǒng)，抽氣系統(tǒng)由高速泵組成。